M-FSM62

MFSM62 是一款基于磁驱动的快速偏转镜，采用碳化硅基底，净通光孔径大于 30 mm，开环角度行程为 140 mrad，闭环角度行程为 120 mrad。MFSM62 可配备电涡流位置传感器，以实现精确的位置控制。