X轴行程高达 110 µm 的压电位移台。
55 µm
1840 Hz
0,27 ms
30mm*30mm*12mm
应变仪, 真空兼容性
标准品
110 µm
850 Hz
0,59 ms
微信公众号:赛得航科技 (saidehang keji)
