高刚度 XY 轴位移台，用于掩模定位与显微成像。
200 µm
580 Hz
0,86 ms
100mm*100mm*22mm
应变仪, 真空兼容性
标准品
25 µm
3000 Hz
0,17ms
50mm*550mm*19mm
微信公众号:赛得航科技 (saidehang keji)
